| 2009年7月 | 
エレクトロニクス先端融合領域若手研究者育成プログラム(テニュアトラック・プログラム)開始 | 
| 2009年12月 | 
エレクトロニクス先端融合研究センター 発足 | 
| 2010年10月 | 
エレクトロニクス先端融合研究所(EIIRIS) 発足
所長 石田 誠(現 特別顧問、名誉教授) | 
| 2010年10月 | 
エレクトロニクス先端融合研究所棟 竣工 | 
| 2010年10月 | 
VBLおよび固体機能デバイス施設(通称LSI工場)(EIIRIS-2)と一体化 | 
| 2011年11月 | 
The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference (AP-IRC) 開催 | 
| 2012年1月 | 
ライフサイエンス実験施設(EIIRIS-3) 設置 | 
| 2012年11月 | 
The Irago Conference 2012開催 | 
| 2013年10月 | 
The Irago Conference 2013開催 | 
| 2013年10月 | 
研究大学強化促進事業採択、EIIRISが研究特区となり全学に展開 | 
| 2014年11月 | 
The Irago Conference 2014開催 | 
| 2015年7月 | 
AIST-TUT先端センサ共同研究ラボラトリー、Prof. Shimojo (Caltech)-TUT 国際共同研究ラボラトリー-こころの認知脳科学研究施設-設置 | 
| 2015年12月 | 
The Irago Conference 2015開催 | 
| 2016年4月 | 
所長 澤田和明 就任 | 
| 2016年11月 | 
The Irago Conference 2016開催 | 
| 2017年4月 | 
研究領域再編 | 
| 2017年4月 | 
先端研究基盤共用促進事業開始 | 
| 2017年11月 | 
The Irago Conference 2017開催 | 
| 2018年11月 | 
The Irago Conference 2018開催 | 
| 2019年4月 | 
研究領域再編。2つの研究領域から5つの研究分野へ。 | 
| 2022年4月 | 
文部科学省 次世代X-nics半導体創成拠点形成事業「集積Green-niX研究・人材育成拠点」(東工大、広島大との連携) | 
| 2023年4月 | 
エレクトロニクス先端融合研究所を次世代半導体・センサ科学研究所(IRES²)に組織改編 |